1999年，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO頒布了潔凈室國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1《潔凈室與受控潔凈環(huán)境，第 一部分：空氣潔凈度分級(jí)》。ISO規(guī)定的潔凈度等級(jí)以及傳統(tǒng)分級(jí)的具體數(shù)值見(jiàn)下表2。
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ISO14644
分級(jí) |
濃度極限（顆粒數(shù)/m3） |
近似對(duì)應(yīng)
傳統(tǒng)規(guī)格 |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1.0μm |
5.0μm |
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ISO 1級(jí) |
10 |
2 |
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ISO 2級(jí) |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO 3級(jí) |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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1級(jí) |
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ISO 4級(jí) |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
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10級(jí) |
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ISO 5級(jí) |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
100級(jí) |
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ISO 6級(jí) |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
1,000級(jí) |
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ISO 7級(jí) |
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352,000 |
83,200 |
2,930 |
10,000級(jí) |
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ISO 8級(jí) |
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3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
100,000級(jí) |
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ISO 9級(jí) |
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35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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用公式表示上述指標(biāo)：
Cn = 10N × (0.1/D)2.08
式中：Cn — 每立方米空間允許大于某粒徑顆粒物的數(shù)量濃度；
N — ISO潔凈度分級(jí)數(shù)；
D — 顆粒物尺度，單位為微米；
0.1 — 常數(shù)，單位為微米。
中國(guó)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)新的修訂稿中采納了ISO分級(jí)。但是，人們已經(jīng)說(shuō)慣了“百級(jí)”、“萬(wàn)級(jí)”、，它順口、易記，今后一段時(shí)間內(nèi)，人們可能照舊說(shuō)下去，直到新一代設(shè)計(jì)師們不再記得老的分級(jí)和英制計(jì)量單位。
說(shuō)潔凈度應(yīng)該對(duì)應(yīng)潔凈室的狀態(tài)：空態(tài)（新建，空屋子），靜態(tài)（設(shè)備就位，無(wú)人員），動(dòng)態(tài)（正常工作）。具體工程所說(shuō)的“潔凈度”是指哪種狀態(tài)，要由用戶與設(shè)計(jì)、供貨等方面協(xié)議確定并明文規(guī)定。忘記對(duì)狀態(tài)做規(guī)定，大家都會(huì)有空子可鉆。
附：GMP規(guī)定的潔凈度
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潔凈級(jí)別 |
塵粒最大允許數(shù) |
微生物最大允許數(shù) |
相當(dāng)于
ISO分級(jí) |
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≥0.5μm |
5μm |
浮游菌/m3 |
沉降菌/皿 |
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100級(jí) |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
ISO 5級(jí) |
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10,000級(jí) |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
ISO 7級(jí) |
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100,000級(jí) |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
ISO 8級(jí) |
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300,000級(jí) |
10,000,000 |
60,000 |
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15 |
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